光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

　　市場上關于光刻機溫度控制裝置的類型有多種，不同類型的光刻機溫度控制裝置其使用方法、作用、結構等都存在一定的差異，所以企業在選擇時根據企業的狀況選擇適合自己的產品。

　　一、光刻機溫度控制裝置的安裝方法：

　　（1）光刻機溫度控制裝置運行時要產生熱量，應確保冷卻空氣的流通，安裝時周圍應留有一定的空間，產生的熱量向上散發，所以不要安裝在不耐熱設備的周圍。

　　（2）光刻機溫度控制裝置應直接安裝在水平面，請勿倒裝、斜裝或垂直安裝。

　　（3）光刻機溫度控制裝置不能安裝在有各種纖維、紙片（屑）、金屬碎塊等場所。

　　（4）光刻機溫度控制裝置的出水口應與您的儀器的進水口相連接，儀器的出水口應與本冷卻循環水機的進水口相連接。

　　二、光刻機溫度控制裝置的注意事項：

　　（1）電源一定要連接于主電源端子。如果錯將電源連接于其它端子，將損壞冷卻循環水機。另外應確認電源電壓是否在允許電壓范圍內。

　　（2）接地端子須良好接地，防止電擊或火災事故。

　　（3）如是分體機，室內機與室外機的氟路連接須由凍水機、光刻機溫度控制裝置廠家的技術人員負責安裝或調試。

　　（4）光刻機溫度控制裝置，應見各接線端子，接線時千萬不要接錯線。

　　（5）各端子和連接線之間是否有短路或對地短路。

　　（6）如使用溫度較低請在循環液里加上防凍液。

　　（7）一定要用壓接端子連接端子和導線，保證連接的可靠性。

　　（8）完成電路連接后，請檢查連接是否都正確無誤。

（9）有無漏接線。