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| 品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5萬-10萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統壓力顯示 | 制冷系統壓力采用指針式壓力表實現（高壓、低壓） 循環系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協議 | 以太網接口TCP/IP協議 | |||||
| 設備內部溫度反饋 | 設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數據導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質 | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機快速冷卻制冷機常見問題
光刻機快速冷卻制冷機常見問題
光刻機快速冷卻制冷機已廣泛用于工業領域，而光刻機快速冷卻制冷機的常見問題主要是因為蒸發溫度（蒸發器中制冷劑的飽和溫度）通常在-85℃至在85℃時，常規方法不能使用水作為制冷劑，因為制冷劑的溫度低于0℃，并且用于制冷劑熱交換的水的溫度很可能低于0℃。由于凍結，須在常規單元的制冷劑溶液中添加防凍劑以降低諸如乙二醇溶液之類的制冷劑溶液的凝固點。
但是，該方法存在許多問題：首先，使用和操作成本增加，并且乙二醇溶液易揮發。使用一段時間后，由于揮發濃度不夠，難以將水溫降低到使用所需的溫度，或者制冷劑溶液的揮發濃度降低，凝固點增加，并且結冰。在使用所需的溫度下發生，導致蒸發器的熱交換管凍結并破裂，從而導致故障；
其次，不允許某些用戶在制冷劑中添加防凍劑（例如乙二醇），例如：芯片工業，由于這些行業的使用量很高，一旦光刻機快速冷卻制冷機制冷劑溶液滲透并泄漏到中，就會影響使用靠譜性，因此將被直接丟棄，從而導致廢品率提高，產量減少等問題。
